|
カトーの無塵無酸化型イナートオーブンは、最高使用温度450℃で、クリーンルーム内使用にも対応する仕様と性能を実現。
捕捉率99.99%の高性能フィルターを直列2段装備。
扉周囲にN2ガスを供給しシール部を冷却。
繊維屑の出ないシリコンパッキン使用。
インコロイ・シーズヒーターを採用し、ヒーター表面の酸化物生成を防止。
N2ガスを150リットル/min
供給し、炉内と試料の酸化を防止。
クリーンルーム内防塵対策用として、モーター配電部に排気ダクトを装備。
モーターシャフト貫通部に、ポリイミド成型のリップシールを採用。
内槽はステンレス全周溶接、コーナーアール仕上げで炉内清掃に配慮。
|