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カトーの無塵無酸化型イナートオーブンは､
最高使用温度450℃で､クリーンルーム内
使用にも対応する仕様と性能を実現。
捕捉率99.99％の高性能フィルターを
直列２段装備。
扉周囲にＮ2ガスを供給しシール部を冷却。
繊維屑の出ないシリコンパッキン使用。
インコロイ・シーズ線ヒーターを採用し､
ヒーター表面の酸化物生成を防止。
Ｎ２ガスを150ﾘｯﾄﾙ/min
供給し､
炉内と試料の酸化を防止。
クリーンルーム内防塵対策用として､
モーター配電部に排気ダクトを装備。
モーターシャフト貫通部に､
ポリイミド成型のリップシールを採用。
内槽はステンレス全周溶接､
コーナーアール仕上げで炉内清掃に配慮。 |
