空気清浄度クラス100を達成

槽内天井部に耐熱アブソリュートフィルターを装備。

槽内下部にスリット式風向調整板を採用。

清浄度を維持しながら温湿度分布を最適に実現。

クリーンルーム内設置に対応

冷凍機は水冷式を標準とし､空冷式の場合は排気ダクト

を装備。

クリーンルーム内にダストが漏れないよう、電気配電部・

冷凍機の排気にはすべて排気ダクトを装備。

排気ダクトが設置できない場合､オプションのHEPA

フィルターを介しクリーンルーム内に排気します。

低湿度域制御に対応：ＣＶＬ型

シリカゲルローター化学的除湿器を搭載して、

低湿度域制御を実現。

搬入時の分割組立も考慮し、除湿器を天井に装備し

省スペースに対応。

湿度センサーには高分子薄膜センサーを採用､

低温低湿度運転時の湿潤ガーゼの劣化を解消。

槽内に湿度検出用水回路が無い為､清浄度の維持が

しやすくなりました。

▼除湿器構造：ＣＶＬ型

▼高分子薄膜湿度センサー：ＣＶＬ型

静電容量式で-20℃〜60℃・０〜80％RHまで使用できます。

湿度表示は-20℃まで可能で、湿度校正は専用の校正器を用意しておりますので精度の経時変化にも安心です。