カトーの新温度制御理論(ＭＳＴ)は、チャンバー内の温度をより正確に測定する為に、従来の温度制御方法に比較してより多くの温度測定センサーを設置しました。

各温度測定センサーの測定値を平均することにより、チャンバー内の正確な現在温度が求められます。

このチャンバー内の測温平均値に基づいて温度制御した結果は上のグラフに示すように、従来の温度制御方法に比較して、設定温度に到達する部分に違いが、はっきり出て、設定温度までの所要時間が短縮されていることがわかります。